Aluminium spejl Inline Magnetron Sputtering Line
Hovedtræk
- Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line leveres normalt med flere vakuumkamre for at færdiggøre vakuumbelægningen på glasplader.
- Hovedtræk:
- 1.Max.glasbelægningsstørrelse:2440x3660mm eller tilpasset
- 2. Multi-vakuum kamre og multi-sputtering kammer design er tilgængelige
- 3. Den vandrette magnetiske kontrollinje har enkelt-ende og dobbelt-ende struktur;glas dobbelt rengøring, belægning, detektion, maling, tørring, afkøling kan afsluttes på én gang
- 4. Forstøvningsbelægningslinjen bruger PLC til kontrol af hele processen og er udstyret med farveskærm til at vise belægningsprocessens data
Lag af belægninger: titan, krom, rustfrit stål, aluminium, sølv, kobber osv.
- Forbindelse: TiN, TiO2 osv.
- Lagtykkelse: 5-100nm
- Transmission: 8-40% ved 380-780 nm bølgelængder
- Deponeringstemperatur: stuetemperatur
- Ultimativt tryk efter 8 timers nedpumpning:
- Indgangslåsekammer & vakuumlåsekammer: 5×10-1 Pa eller derunder
- Bufferkammer 1: 3×10-3 Pa eller derunder
- Sputtering Chamber: 2×10-3 Pa eller derunder
- Bufferkammer 2: 3×10-3 Pa eller derunder
- Udgang af låsekammer & vakuumlåsekammer: 5×10-1 Pa eller derunder
Skriv din besked her og send den til os
