Inline Magnetron Sputtering system
Inline magnetron sputtering coating maskine er hovedsageligt DC (eller MF) magnetron sputtering coating kan tilpasses til en bred vifte af mål, såsom: kobber, titanium, krom, rustfrit stål, nikkel og andre metalmaterialer, der kan coates ved hjælp af en sputtering proces kan forbedre filmadhæsion, reproducerbarhed, tæthed, ensartethed og andre egenskaber.
- en.De grundlæggende egenskaber og parametre
- b.horisontal linjestruktur kan realiseres samtidigt coated på den ene side
- c.produktionseffektivitet, de hurtigste hastigheder på op til 1 min/slag
- d.modulært design, nem vedligeholdelse
- e.plating proces modenhed, højt udbytte
- f.DC magnetron sputtering katoder kan variere afhængigt af kundens krav
- g.Vakuumsystem består af en mekanisk pumpe, Roots pumper, diffusionspumper (molekylær pumpe) Sammensætning
- h.Line kropsstørrelse kan variere afhængigt af kundens krav
- 1) Vakuum kammer krop materialer brugt SUS304, polering en vakuum kammer væg behandling, ydervæggen spray polering perler behandling.
- 2) Brug af en uafhængig skydeventil mellem vakuumkammeret - klapventil fra hinanden, kan effektivt afbryde, stabilisere procesgassen.På nuværende tidspunkt vedtager vores virksomhed klapventildesignet, det forsegler bedre, mere holdbart end den nuværende almindelige klapventil.
- 3) Transmission bruger magnetisk guide, beskytter drevets stabilitet.For hver hastighed i hele produktionslinjen ved hjælp af VVVF-motordrev kan kørehastigheden justeres.
- 4) Elektrisk kontrolsystem: Berøringsskærm og PLC automatisk kontrol, menneske-maskine dialog for at opnå datavisningssystemet, driftsparametre og kontrolteknologi
- 1) Ultimativt vakuumtryk: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) den gennemsnitlige produktionscyklus: i henhold til det produkt, der er bestemt
- 3) Substratholderen Størrelse: kan tilpasses i henhold til kravene i
- 4) Filmens ensartethed: ± 3% avanceret mobilfeltteknologi har i høj grad forbedret måludnyttelsen
- Segmenteret varmelegemedesign er befordrende for procesoptimering.
Skriv din besked her og send den til os
