-En/to døre
Ramme og kammer er lavet af carbon rustfrit stål.
Hver dør giver et inspektionsvindue til visuel kontrol af processen.Dørvæggene har en rustfri stålbeklædning, som let kan fjernes for vedligeholdelse.
-Tilpasset vakuumkammer
Kammeret giver indvendige foringer af rustfrit stål, der let kan fjernes for rengøring.
Pumperne står på dens bageste del.
Kammeret har en række små flange til måling.
- Højvakuum pumpesystem
Diffusionspumpe+Boosterpumpe+Mekanisk pumpe
- Vakuum måling og kontrol
Med metal Pirani måler+ metal ioniseringsmåler
-Inventar flyttesystem
-PLC styreenhed
-Aluminium fordampningssystem med høj effekt transformer
- Jernramme
Strukturen er fornuftig
Filmlaget er ensartet
Filmdannende kvalitet
Høj pumpehastighed, kort arbejdscyklus og høj produktionseffektivitet
Betjening er praktisk
Lavt energiforbrug og stabil ydeevne
Model nummer | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | To døre eller to kamre model er tilgængelig | |
Dimension af vakuumkammer (diameter * højde) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materiale af vakuumkammer | Kulstofstål, SUS304 eller SUS316L | ||||||
Teknologi til at arbejde | vakuummodstandsfordampning med wolfram- og aluminiumfilamenter, højeffektfordampningstransformator | ||||||
Pumpesystem | Diffusionspumpe+mekaniske pumper, boosterpumpe | ||||||
Pumpetid | Fra atmosfære til 5,0*10-2Pa mindre end 8 minutter | ||||||
Vakuumgrænse | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Arbejdstemperatur | Stuetemperatur | ||||||
Arbejdstilstand | Automatisk eller manuel tilstand, med 10,4 tommer PLC touch-skærm | ||||||
Samlet kraft | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Fodspor | 2*2 meter | 2*3 meter | 3*3 meter | 3*3 meter | 3*4 meter | 4*5 meter | 5*6 meter |
Disse enheder kan du specialfremstille | 1. Størrelse af vakuumkammer 2. Konfigurationer af pumper | ||||||
Valgfrie instrumenter | 1. Lækagedetektor 3. Bue-ion-aflejringssystem 4. Magntron sputtersystem |